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XYステージ応用商品
摩擦レスのリニアモータ加圧とダメージのない高速接触検知により、高速・高精度で高品位な加圧に対応できる立軸ステージの技術です。リニアモータ及びバランスシリンダー（改良した市販低摩擦シリンダー）駆動で自成絞り方式の空気静圧パッドによりテーブル重量軽減を小さく抑えることが可能です。また、ステージは低摩擦のV-V形状（真直性優）の滑り案内と平行ばね形継手およびテーブル上面制御方法により、姿勢変化が少なく高負荷に耐える高精度ステージです。これらの応用商品として、高精度のレーザー加工機やフリップチップボンダーがあります。自動化設備においてワークは精密に位置決めされなければなりません。そこで、ワークに対して仕事をするポイント（ステーション）では、 精密ステージというモジュールが必要となります。モジュール形態としては、“直交2軸：XY型”とZ軸との組み合わせが一般的です。用途に応じて、上下動作に様々なスピンドルを搭載して加工・組立・検査動作等を行う事が可能です。
スペック・仕様
| 名称 | 精密ステージ |
|---|---|
| 機械説明 | VV滑り案内による精密ステージ |
| 特徴 | ①摩擦抵抗の低減により真直性が維持できます ②位置決め精度の向上 ③品質の安定 |
| 寸法 | W 700 × D 1,100 × H 1,800 |
| 能力 | 有効ストローク（mm）：100 × 100 × 150 |
